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离子束增强
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内容分析
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文献信息
篇名 离子束刻蚀PZT薄膜图形
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 PZT薄膜 离子束刻蚀 微细加工 刻蚀
年,卷(期) 1995,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 163-166
页数 4页 分类号 TN305.7
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研究主题发展历程
节点文献
PZT薄膜
离子束刻蚀
微细加工
刻蚀
研究起点
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研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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