亚微米电子束曝光机工件台控制系统

• 作者: 张安福 谭敏
• 来源期刊: LSI制造与测试
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 双频 激光干涉仪 工件台 控制系统
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 20-26
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7

摘要

激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要任务是完成图形的拼接。本文描述双频激光干涉仪为测量系统的计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的Ｘ－Ｙ工件台。该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。