MOCVD技术制备ZnS：MnACTFEL器件的进展

• 作者: 赵丽娟 钟国柱
• 来源期刊: 光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 薄膜 电致发光 金属有机物 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 43-50
• 页数: 8页
• 分类号: TN383.1

摘要

本文综述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）技术制备ＺｎＳ：Ｍｎ交流薄膜电致发光（ＡＣＴＦＥＬ）器件的发展历史及研究现状，对各种改进技术和使用的原材料进行了比较，并指出进一步的研究方向。