四靶双离子束溅射仪制备软X光衍射色散元件

• 作者: 崔明启 袁利祥
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束溅射 软X光 色散元件 衍射
• 年，卷（期）: 1995,（1）
• 页码范围: 61-66
• 页数: 6页
• 分类号: TN256

摘要

用四靶双离子束溅射仪一体化制备软Ｘ光衍射色散元件，宽束平行离子源刻蚀光栅，宽束聚焦离子源镀制软Ｘ光多层膜，经ＳＥＭ、ＴＥＭ、ＦＣ数字化图像处理和效率测试等测试手段分析，结果表明所制备器件具有良好的结构和衍射特性。