等离子体表面处理用脉冲电源

• 作者: 危立辉 孙奉娄
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 离子渗氮 脉冲电源
• 年，卷（期）: 1995,（5）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.442

摘要

本文阐述了脉冲辉光放电的特点，介绍了我们研制的等离子体表面处理用脉冲电源的原理、电路特点和脉冲离子渗氮应用情况。