溶胶—凝胶沉积PbTiO3薄膜成分和结构的XPS分析

• 作者: 卢朝靖 王典芬
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: PbTiO3薄膜 XPS 溶胶-凝胶沉积 铁电材料
• 年，卷（期）: bmkxyjs,（1）
• 页码范围: 77-83
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.9

摘要

对通过Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺制备的ＰｂＴｉＯ３薄膜在Ａｒ＾＋溅射前后作了ＸＰＳ全扫描和窄扫描测量，结果表明，除了薄膜原始表面有化学吸附氧和污染碳外，薄膜中没有残余的单质碳或其他杂质元素存在，薄膜的元素组成与化学计量比一致，薄膜表面无富集Ｐｂ。各元素的化学状态证实薄膜系ＰｂＴｉＯ３钙钛矿型结构，Ａｒ＾＋溅射引起Ｐｂ择优溅射和化合物分解，以致Ａｒ＾＋溅射后薄膜表面元素组成与化学状态严重偏离薄膜体内层的真实