扩散硅压力传感器

• 作者: 徐广忠
• 来源期刊: 水电厂自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 压力传感器 扩散硅
• 年，卷（期）: sdczdh,（1）
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TP212

摘要

扩散硅压力传感器是利用半导体单晶硅的压阻原理制成的压力传感器，具有精度高、尺寸小，长期稳定性好等优点，广泛用于流体压力，液位和流量的测量。本文较通俗的介绍这类传感器的工作原理、国内外发展、技术性能和有关应用方面的知识、可帮助非本专业的同志了解并较好的选用这类传感器。

作者信息

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1	徐广忠		1	0	0.0	0.0