多功能ABO3型金属氧化物薄膜及其水热法和电化学—水热法合成

• 作者: 许华平 陈逸清
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 金属氧化物 陶瓷薄膜 水热法 电化学 合成
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 5-12
• 页数: 8页
• 分类号: TN304.82

摘要

功能陶瓷薄膜化技术的飞速发展给新颖功能器件的研究和开展带来了巨大活力。本文回顾了复杂金属氧化物薄膜的制备技术，着重介绍了最新发展起来的低温氧化物薄膜工艺：水热法和电化学－水热法，并对水热反应沉膜机理作了分析。