金刚石膜热学性质研究

• 作者: 张纪法 王春蕾
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 薄膜 热学性质 EACVD
• 年，卷（期）: 1995,（1）
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.180

摘要

本文采用电子增强化学气相沉积（ＥＡＣＶＤ）方法，以甲烷和氢气的混合气体为原料制备金刚石膜，并结合拉曼光谱、扫描电子显微镜、顺磁共振谱等测试手段及光热偏转方法对影响金刚石膜热导率的因素作了实验研究。