半导体薄膜材料物理与工艺的研究进展

• 作者: 彭英才
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体薄膜材料 物理 工艺
• 年，卷（期）: 1995,（1）
• 页码范围: 45-50
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.055

摘要

半导体薄膜材料是发展微电子技术的先导条件和制备微电子器件的物质基础，本文提出了五个重要转变，并以此为主线着重讨论和分析了半导体薄膜材料物理与工艺的发展过程、规律与特点。