H—600型电子显微镜抽真空自控电路分析

• 作者: 杨运经
• 来源期刊: 分析测试仪器通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 真空系统 自控电路 电子显微镜
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 231-235
• 页数: 5页
• 分类号: TN16

摘要

文章简要介绍了Ｈ－６００型电子显镜抽真空系统，分析了抽真空程序及其程序控制电路。对于准确、快速排除抽真空自控电路的故障具有一定的帮助作用。