磁控溅射镀铝一锌镀层工艺试验

• 作者: 任大鹏 鲜晓斌
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 铝锌镀层 薄膜 镀层 工艺 试验
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.44

摘要

本文报告了不同基片偏压对磁控溅射Ａｌ－ｚｎ镀层成份的影响，用扫描电镜分析了不同偏压下沉积试样表面形貌，在３．５ｗｔ％ＮａＣｌ溶液中进行了镀层试样电化学实验。