气相沉积法制取涂复粉料

• 作者: 屈小梅 王炳根
• 来源期刊: 超硬材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 气相沉积法 涂复粉料
• 年，卷（期）: cyclygc_1995,（3）
• 页码范围: 21-26
• 页数: 6页
• 分类号: TF114.12

摘要

本文简述气相沉积法基本原理和工艺，同时介绍国外在金刚石或艾尔硼上镀金属膜。