聚变高功率RF技术在非聚变领域的应用

• 作者: Wihelm,R 华和
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: RF 等离子体源 微波等离子体源 CERH等离子体源
• 年，卷（期）: gwhjb,（1）
• 页码范围: 52-59
• 页数: 8页
• 分类号: TL629.1

摘要

本文介绍了在几ＭＨｚ到几ＧＨｚ（微波频率）的频率范围内高功率射频技术应用的几个例子。所有例子都涉及到在用于许多重要的技术工艺时非聚变等离子体的ＲＦ产生。一些具体的项目是：用于此出离子束的感应驱动ＲＦ放电、射频板反应器以及最近发展起来的微波等离子体源。