SiO2—Al2O3复合氧化物薄膜的溶胶—凝胶法制备研究

• 作者: 李澄 黄明珠
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 氧化物 二氧化硅 三氧化铝 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 1995,（1）
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.210

摘要

以ＴＥＯＳ和水合硝酸铝为原料用溶胶－凝胶法制备复合溶胶，对制备条件进行了研究，并用上述溶胶在不锈钢基体上制备了ＳｉＯ２－Ａｌ２Ｏ３复合氧化物薄膜。结果表明，该薄膜在适当组成时具有良好的完整性。当硝酸铝含量过高时溶胶和凝胶的均匀性受到影响。