国产α—Al2O3的流延工艺研讨

刘振华

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国产α—Al2O3的流延工艺研讨

国产α—Al2O3的流延工艺研讨

作者：

刘振华

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半导体材料

氧化铝

流延工艺

摘要：

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文献信息

篇名	国产α—Al2O3的流延工艺研讨
来源期刊	电子元件	学科	工学
关键词	半导体材料氧化铝流延工艺
年，卷（期）	1995,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	41-43
页数	3页	分类号	TN304.21
字数		语种
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