电子束蒸镀半导体发光二极管的减反射膜

• 作者: 王剑格 罗江财
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 发光二极管 减反射膜 电子束蒸发设备
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TN305

摘要

用电子束蒸发设备，制备了用于光纤通信等中的ＧａＡｓ和ＩｎＰ系列双异质结红外发光二级管的减反射介质膜。测量结果表明，对发光波长为０．８５μｍ和０．９０μｍ的ＧａＡｌＡｓ／ＧａＡｓ发光二级管，蒸镀四分之一波长厚的Ａｌ２Ｏ３减反射膜，输出光功率在５０ｍＡ和１００ｍＡ电流注入下，可增加２５￣３５％，最大可增加５０％。但对于１．３μｍ波长的ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ型红外发光二极管，用ＺｒＯ２作减反射膜，比用Ａ