氧化锌薄膜材料在SAW元件中的应用

• 作者: 吴雄
• 来源期刊: 电子元件
• 学科: 工学
• 关键词: 压电材料 声波元件 应用 氧化锌薄膜
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TN650.4

摘要

本文评述ＺｎＯ（氧化锌）薄膜材料在ＳＡＷ（声波）元件中的应用，主要涉及ＺｎＯ薄膜材料的特性，制备技术，在ＳＡＷ元件中的应用举例，并介绍ＺｎＯ薄膜研制和进展以及发展动向。