离子束薄膜合成及材料表面优化

• 作者: 杨根庆 柳襄怀
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束 薄膜合成 材料表面改性 掺杂
• 年，卷（期）: 1995,（3）
• 页码范围: 232-239
• 页数: 8页
• 分类号: TB43－39

摘要

本文简略地回顾了离子束材料表面优化研究领域的发展及现状，着重介绍上海冶金研究所离子束开放研究实验室近年来在离子束薄膜合成及材料表面改性方面的研究工作。同时对离子束技术在工业中的应用进行了探讨。