硅基薄膜发光材料

• 作者: 刘湘娜 鲍希茂
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基薄膜 发光材料 薄膜
• 年，卷（期）: 1995,（3）
• 页码范围: 270
• 页数: 1页
• 分类号: TB43

摘要

硅是微电子技术的基础材料，硅集成技术已高度发展，但硅却是非发光材料。为了发展硅基光电子技术，人们对硅基发光材料作了多方面的探索，其中有“缺陷工程”－在硅中引入作为辐射复合中心的杂技或缺陷，使之发光。“能带结构工程”－利用量子限制效应，利用具有不同能带结构的材料组合，获得硅基发光材料。“异质外延材料”－以硅为基底外延生长具有发光性能的材料。