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高频辉光放电能提高微晶硅的晶粒尺寸和沉积速率
高频辉光放电能提高微晶硅的晶粒尺寸和沉积速率
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青春
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高频辉光放电
微晶硅
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篇名
高频辉光放电能提高微晶硅的晶粒尺寸和沉积速率
来源期刊
电子材料快报
学科
工学
关键词
高频辉光放电
微晶硅
硅
年,卷(期)
1995,(6)
所属期刊栏目
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13
页数
1页
分类号
TN304.12
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微晶硅
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天津电子材料研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
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出版地:
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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