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本征层工艺参数对微晶硅太阳电池开路电压的影响
微晶硅
硅烷浓度
辉光功率
开路电压
甚高频高速沉积微晶硅薄膜的研究
微晶硅薄膜
高速沉积
甚高频化学气相沉积
不同晶粒尺寸氯化亚铜微粉制备
氯化亚铜
粒径控制
氧化机理
辉光放电等离子体灭菌技术的研究
低气压辉光放电
高频放电
等离子体
灭菌消毒
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 高频辉光放电能提高微晶硅的晶粒尺寸和沉积速率
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 高频辉光放电 微晶硅
年,卷(期) 1995,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13
页数 1页 分类号 TN304.12
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节点文献
高频辉光放电
微晶硅
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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