硬质膜研究与发展的进展

• 作者: 闻立时
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质膜 薄膜 材料
• 年，卷（期）: 1995,（3）
• 页码范围: 271
• 页数: 1页
• 分类号: TB43

摘要

八十年代以来硬质膜的发展是通过膜层选材、制备工艺改进和材料设计三条途径进行的。在硬膜新材料方面，金刚石、立方氮化硼和β－Ｓｉ３Ｎ４等超硬膜近年来最受重视。然而，以ＴｉＮ为代表的硬度在Ｈｖ１５００－４０００ｋｇ／ｍｍ＾２硬膜，仍然是工业而耐磨涂层的主流。电弧离子镀已经取代了空心阴极离子镀，成为工业中应用的主要硬膜工艺。然后，大颗粒问题却一直未能解决，因而限制了电弧离子镀在仿金装饰镀层方面的应用。近年