液态金属离子源

• 作者: Czarc.,W 高玉
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: 液态金属 离子源 聚焦离子束
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 57-62
• 页数: 6页
• 分类号: TL629.1

摘要

液态金属离子源广泛应用于表面研究和微制作技术用的聚焦离子束加工工艺。本文简要地介绍了液态金属离子源的基本现象、机制、参数和性能。也讨论了材料和设计问题。