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常规的与浸泡的金属离子植入的比较
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文献信息
| 篇名 | 常规的与浸泡的金属离子植入的比较 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 金属 离子植入 常规 浸泡 离子源 真空弧 | ||
| 年，卷（期） | 1995,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 63-67 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TL629.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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金属
离子植入
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