ITO膜生产技术的新进展

• 作者: 姜燮昌
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 薄膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 1995,（3）
• 页码范围: 272
• 页数: 1页
• 分类号: TB43

摘要

用溅射的方法来制备ＩＴＯ膜已应用于平板显示技术，特别是高速磁控溅射技术的出现，又使ＩＴＯ膜实现大量生产成为可能。本文详细论述了ＩＴＯ膜生产线的设计要点，总体方案及其技术性能，并分析了各种工艺参数对ＩＴＯ膜的透光率、面电阻等主要技术指标的影响。