非晶含锡有机膜的热处理行为

• 作者: 刘维民 周坤磷
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 含锡有机膜 热处理 晶化 相变
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 356-361
• 页数: 6页
• 分类号: TG15

摘要

射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜，研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下，发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。