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碳化
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半导体技术
SiC薄膜
μc-SiC
磁控溅射
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文献信息
篇名 SiC薄膜生长
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 半导体膜 异质结 薄膜生长
年,卷(期) 1995,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 3
页数 1页 分类号 TN304.12
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半导体膜
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