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光刻伺服录写设备中主轴电机的高稳定性控制
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电子计算机外部设备
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出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
CN 33-1123/TP
开本：
出版地：
机电部杭州第五十二研究所
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语种：
出版文献量（篇）
799
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