纳米Al2O3薄膜相变过程中远红外吸收谱的演变

• 作者: 张立德 牟季美
• 来源期刊: 上海硅酸盐
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化铝薄膜 相变 远红外吸收光谱 纳米级
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 253-256
• 页数: 4页
• 分类号: O48

摘要

本文通过Ｘ光衍射和远红外透射谱的测量，系统地研究了纳米结构Ａｌ２Ｏ３薄膜在相变过程中远红外吸收谱特征及演变，观察到随着热处理温度的升高，红外吸收带变窄，δ－Ａｌ２Ｏ３红外谱上出现一个新的吸收带，其峰位为－１８０ｃｍ＾－１。转变成θ－Ａｌ２Ｏ３时，Ｐ１带分裂为两个吸收带，峰位分别为１２５ｃｍ＾－１和２１０ｃｍ＾－１。