用于金刚石沉积的一种简单微波等离子体源

• 作者: Khach,J 刘世权
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体源 CVD 金刚石沉积 薄膜
• 年，卷（期）: 1995,（3）
• 页码范围: 67-69
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.18

摘要

我们描述一各上简单的为等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜而建造的微波等离子体源。用700W 民用微波炉磁控管，把微波功率输进一个用水冷却的圆柱形不锈钢真空容器中。把放进容器中的甲烷／氢气混合气，通过微波激发来产生一个界面清晰、不与容器壁发生相互作用 的等离子体球。它在容器中的位置，可以通过轴向电场分布的冷腔计算来预测。该容器有几个不改变共振条件的诊断口。金刚石沉积在各种基片上。其片位于等离子体球下而在石墨盖顶的石英支架上。本文介绍和讨论了某些结果。