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金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
人造金刚石合成中黑色低磁金刚石的研究
黑色人造金刚石
磁性
包裹体
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 金刚石和强介电薄膜
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 金刚石薄膜 强介电薄膜 SIC
年,卷(期) 1995,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-2
页数 2页 分类号 TN304.18
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1995(0)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石薄膜
强介电薄膜
SIC
研究起点
研究来源
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期刊影响力
电子材料快报
月刊
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
出版文献量(篇)
576
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