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利用发射电子法经由热灯丝CVD在Si(100)上合成局域异质外延金刚石膜
异质外延金刚石膜
热灯丝CVD
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CVD法
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金刚石薄膜
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期刊影响力
电子材料快报
主办单位：
天津电子材料研究所
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月刊
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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576
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