论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 等离子体应用技术快报期刊 \
轴对称静态磁控管的氢氟化碳等离子体对亚微米二氧化硅的蚀刻
推荐文章
等离子体发射光谱法测定岩石矿物中的二氧化硅
等离子体发射光谱
岩石
矿物
二氧化硅
二氧化碳等离子体处理生物质焦油
旋转弧等离子体
生物质焦油
气化
二氧化碳
合成气
两相溶胶-凝胶法制备微米二氧化硅
单分散性
二氧化硅微球
两相溶胶-凝胶法
等离子体技术在甲烷二氧化碳重整制合成气反应中的应用
等离子体
甲烷
二氧化碳
重整
合成气
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 轴对称静态磁控管的氢氟化碳等离子体对亚微米二氧化硅的蚀刻 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 二氧化硅 离子蚀刻 等离子体 磁控管 | ||
| 年，卷（期） | dlztyyjskb_1995,（8） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 6-7 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN405.982 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1995(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
二氧化硅
离子蚀刻
等离子体
磁控管
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
总下载数（次）
2
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
等离子体应用技术快报2000
等离子体应用技术快报1999
等离子体应用技术快报1998
等离子体应用技术快报1997
等离子体应用技术快报1996
等离子体应用技术快报1995
等离子体应用技术快报1994
等离子体应用技术快报1995年第9期
等离子体应用技术快报1995年第8期
等离子体应用技术快报1995年第7期
等离子体应用技术快报1995年第6期
等离子体应用技术快报1995年第5期
等离子体应用技术快报1995年第4期
等离子体应用技术快报1995年第3期
等离子体应用技术快报1995年第2期
等离子体应用技术快报1995年第12期
等离子体应用技术快报1995年第11期
等离子体应用技术快报1995年第10期
等离子体应用技术快报1995年第1期
