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室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜
E-BN薄膜
脉冲激光沉积
扫描电镜
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X射线衍射
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脉冲激光沉积系统
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脉冲激光能量
重离子LET
等效计算
等离子体增强脉冲激光沉积o-BN薄膜
等离子体增强脉冲激光沉积
氮化硼薄膜
X射线衍射谱
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 在β—SiC衬底上采用离子增强脉冲激光沉积立方BN膜
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 Β-SIC 离子增强 脉冲激光沉积 BN 半导体薄膜
年,卷(期) dzclkb_1995,(11) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5-6
页数 2页 分类号 TN304.23
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1995(0)
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研究主题发展历程
节点文献
Β-SIC
离子增强
脉冲激光沉积
BN
半导体薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子材料快报
月刊
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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