论文降重
免费查重
推荐文章
等离子体技术在废水处理中的应用
等离子体技术
低温等离子体
废水处理
等离子体在化学化工上的应用
等离子体
化学化工
应用
竹材等离子体处理工艺优化及其在重组竹中的应用
重组竹
等离子体
接触角
响应面分析
低温等离子体处理对PET膜性能的影响
低温等离子体
PET膜
X射线光电子能谱(XPS)
表面自由能
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 等离子体处理在硅中引入的深能级 | ||
| 来源期刊 | 电子材料快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 硅 深能级 等离子体 微电子器件 | ||
| 年，卷（期） | dzclkb_1995,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 10-11 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN304.12 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1995(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅
深能级
等离子体
微电子器件
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子材料快报
主办单位：
天津电子材料研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
576
总下载数（次）
1
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
电子材料快报1995年第9期
电子材料快报1995年第8期
电子材料快报1995年第7期
电子材料快报1995年第6期
电子材料快报1995年第5期
电子材料快报1995年第4期
电子材料快报1995年第3期
电子材料快报1995年第2期
电子材料快报1995年第12期
电子材料快报1995年第11期
电子材料快报1995年第10期
电子材料快报1995年第1期
功能材料信息
表面工程材料与先进技术期刊（英文）
材料导报：纳米与新材料专辑
材料工程研究（英文）
材料化学前沿
材料科学
材料科学建模与数值模拟（英文）
材料科学与工程：中英文A版
材料科学与工程：中英文B版
材料科学与化学工程（英文）
材料科学研究：中英文版
材料科学与应用期刊（英文）
材料科学与应用（英文）
材料物理与化学进展（英文）
材料学前沿：英文版
超硬材料与工程
电子材料（机电部）
电子材料快报
地质材料（英文）
复合材料期刊（英文）
非金属材料
非金属材料科学（英文）
高分子材料
炭材料科学与工艺
武汉理工大学学报：材料科学英文版
无机非金属材料（英文）
网络聚合物材料通讯
钨钼材料
原材料及工程造价信息
有机高分子材料期刊（英文）
有机高分子材料研究（英文）
中国材料科技与设备
中国材料资讯
中国超硬材料
中国科学：材料科学（英文版）
金属材料研究
金属材料研究（英文）
计算机、材料和连续体（英文）
矿物冶金与材料学报：英文版
矿物质和材料特性和工程（英文）
苏州大学学报(哲学社会科学版)
长春师范大学学报
山东师范大学学报(社会科学版)
黑龙江教育(高教研究与评估)
长春大学学报
赤峰学院学报(汉文哲学社会科学版)
广西教育
西南农业大学学报(社会科学版)
重庆理工大学学报(社会科学)
学术评论
吉林教育
吉林教育
吉林教育
吉林教育
江苏教育
科学中国人
牡丹江师范学院学报(社会科学版)
社会科学论坛(学术研究卷)
上海社会科学院学术季刊
新乡学院学报(社会科学版)
集美大学学报(教育科学版)
北京教育学院学报
天津教育
华中师范大学研究生学报
现代教学
安徽教育
西安社会科学
生活教育
国际学术动态
赤峰学院学报(科学教育版)
重庆城市管理职业学院学报
南方论丛
今日教育
东吴学术
淄博师专论丛
知识文库
酒城教育
黑龙江农垦师专学报
河套学院论坛
齐齐哈尔工程学院学报
