氮（氩、氦）通用终端超净装置及精制流程

• 作者: 程德鑫
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 超净装置 精制流程 原料气 吹扫
• 年，卷（期）: 1995,（5）
• 页码范围: 47
• 页数: 1页
• 分类号: TQ028.2
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程德鑫	大连市中山路161号中国科学院大连化学物理研究所	1	0	0.0	0.0