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微型加工的硅加速度计B—290
微型加工的硅加速度计B—290
作者:
Hafem,M
吴涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
加速度计
敏感器
硅
微加工
摘要:
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文献信息
篇名
微型加工的硅加速度计B—290
来源期刊
惯导与仪表
学科
工学
关键词
加速度计
敏感器
硅
微加工
年,卷(期)
1996,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-5
页数
5页
分类号
TH824.4
字数
语种
中文
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期刊影响力
惯导与仪表
主办单位:
中国航天科技集团公司一院十三所
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
北京142信箱403分箱8号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
351
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