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硅加速度计
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微型加工的硅加速度计B—290
来源期刊 惯导与仪表 学科 工学
关键词 加速度计 敏感器 微加工
年,卷(期) 1996,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-5
页数 5页 分类号 TH824.4
字数 语种 中文
DOI
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
加速度计
敏感器
微加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
惯导与仪表
季刊
北京142信箱403分箱8号
出版文献量(篇)
351
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