BaRuO3电阻薄膜制备技术

• 作者: 黄芳龙
• 来源期刊: 电子元件
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜制备 电阻材料 镣酸盐
• 年，卷（期）: 1996,（1）
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TM241.05

摘要

ＭＲｕＯ３系电阻薄膜是高热稳定的电阻薄膜材料。本文介绍用高频反应溅射制备ＢａＲｕＯ３电阻薄膜技术。并用电镜、ｘ－射线衍射仪、多功能电子能谱仪观察测得ＢａＲａＯ３薄膜的形貌、晶体结种、组成。结果表明：高频反应溅射制备的ＢａＲｕＯ３薄膜为六方结构（１１０）取向的多晶薄膜，由高低温下的电阻测定表明，该膜质有稳定的电阻温度系数和高温热稳定性能，是理想的发热电阻材料。