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制造带有吸气剂的真空器件和红外探测器件的方法
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摘要：
抽气管３５内装有化学活性吸气剂３０，用来吸附抽真空器件管腔１２内的气体。本发明是使用一个或多个可移动的吸气剂３０先置于抽气管３５远离管腔１２的安全距离位置３６上进行加热激活。然后将吸气剂３０移向管腔１２并保留在密封的排气抽气端３１内。在排气管抽气端３１内装上一个真空渗透档板３２，以阻止吸气剂材料３０进入管腔１２内，防止破坏或沾污
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文献信息
| 篇名 | 制造带有吸气剂的真空器件和红外探测器件的方法 | ||
| 来源期刊 | 光电技术 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 真空器件 红外探测器 吸气剂 制造 | ||
| 年，卷（期） | gdjs_1996,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 62-66 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN105 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
真空器件
红外探测器
吸气剂
制造
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研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电技术
主办单位：
华东电子集团有限公司
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京市栖霞区华电路1号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1122
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