微机械速率陀螺原理和关键技术

• 作者: 刘学斌 顾启泰
• 来源期刊: 导航
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机电系统 陀螺 速率陀螺
• 年，卷（期）: 1996,（3）
• 页码范围: 70-74
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5

摘要

介绍了微机械速率陀螺的基本原理，数学模型和关键技术，它采用半导体微细加工工艺，具有非常小尺寸，低成本，长寿命和高可靠性等优点，能满足战术导弹和汽车应用。