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摘要:
电光源和电子管都需要真空设备,优质的真空泵可以制出高性能的器件。本文介绍了机械真穴泵的一些新技术详细介绍了德国莱宝公司的旋片真空泵的种类。
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文献信息
篇名 莱宝公司及其旋片真空泵
来源期刊 光电技术 学科 工学
关键词 机械真空泵 真空技术 真空设备
年,卷(期) 1996,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 18-30
页数 13页 分类号 TB752.2
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机械真空泵
真空技术
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光电技术
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