Al2O3,ZrO2功能薄膜的性能及制备技术

• 作者: 周卓华 惠松骁
• 来源期刊: 信息与开发
• 学科: 物理学
• 关键词: 功能薄膜 氧化物 制备技术 薄膜材料
• 年，卷（期）: 1996,（1）
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: O484

摘要

简述了Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２功能薄膜的国内外研究概况，性能、用途及制备技术现状，展望了其今后的应用前景及需要解决的问题。