电极的脉冲电子束处理对真空击穿的影响

• 作者: 欧阳彬
• 来源期刊: 旭光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电极 脉冲电子束处理 真空击穿
• 年，卷（期）: 1996,（3）
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TN103

摘要

本文提出了一种用微秒低能强度电子束对电极进行了预处理的方法。它表明，这种电子束能使电极表面熔化并除去表面层的杂质和气体。接着，对真空间隙进行小电流脉冲放电老炼处理，即可获得较高的击穿电场强度。