用直流等离子CVD法制作的DLC膜的特性

• 作者: 张敏 河田一喜
• 来源期刊: 国外金属加工
• 学科: 工学
• 关键词: 涂层 薄膜 贵金刚石碳膜 直流等离子 CVD法
• 年，卷（期）: gwjsjgb_1996,（2）
• 页码范围: 52-57
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.45

摘要

用直流等离子ＣＶＤ法在硬质合金表面上涂覆ＤＬＣ膜（类金刚石碳膜）并进行了喇曼分光分析，研究了组织，硬度，附着性和磨损性。ＤＬＣ膜显示了比用ＰＶＤ法得到了ＴｉＮ膜硬度更高，耐磨性更优良的特点。