美国离化团簇束成膜技术发展概况

• 作者: 卢榆孙 施宝毅
• 来源期刊: 航天出国考察技术报告
• 学科: 工学
• 关键词: 离化团簇束 美国 薄膜技术
• 年，卷（期）: 1996,（2）
• 页码范围: 132-134
• 页数: 3页
• 分类号: TN37

摘要

叙述了美国当前离化团族束成膜技术的研制水平，发展状况，着重介绍了存在的的两种不同学术观点，以及他们各自的特点，对液体源雾化化学沉积技术及离化团族束设备与微电子生产线作介绍。此外，对壬西里厄理工学院物理系的部分离化束技术作了较详细描述。