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反馈控制隔振体的试验研究
反馈控制隔振体的试验研究
作者:
姜俊平
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集成电路
LSI
试验
反馈控制
隔振体系
摘要:
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文献信息
篇名
反馈控制隔振体的试验研究
来源期刊
LSI制造与测试
学科
工学
关键词
集成电路
LSI
试验
反馈控制
隔振体系
年,卷(期)
1996,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
10-14
页数
5页
分类号
TN470.6
字数
语种
DOI
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1996(0)
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集成电路
LSI
试验
反馈控制
隔振体系
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位:
上海光学仪器研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1459/TN
开本:
出版地:
上海江西中路450号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
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0
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