低压微波增强直流溅射放电的等离子体诊断

• 作者: Misin.,M
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体诊断 低压微波放电 直流溅射
• 年，卷（期）: 1996,（3）
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TL65

摘要

本文报导在０．００５－０．０６Ｐａ压强范围内由微波电子回旋共振（ＥＣＲ）氩等离子体点燃并维持的圆柱形磁控管溅射放电。利用光发射谱、多栅分析器及朗缪尔探针技术测量了在基片附近的等离子体微观参数及粒子密度随压强和微波功率而变化的一般趋势。结果发现，气体离子和中性溅射粒子的密度主要取决全微波功率，而在较小程度上取决于气体压强。在基片上溅射粒子、工作气体原子和离子的通量全都为同一量级，即１０＾１６ｃｍ＾－