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摘要:
综述了铁电薄膜材料及铁电薄膜制备技术的发展概况。阐述了几种典型铁电薄膜材料及主要制备技术的特点。
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文献信息
篇名 铁电薄膜材料及其制备技术的发展
来源期刊 电子元件 学科 工学
关键词 铁电材料 薄膜 制备技术
年,卷(期) 1996,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 74-76
页数 3页 分类号 TN304.9
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1 刘梅冬 8 91 4.0 8.0
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研究主题发展历程
节点文献
铁电材料
薄膜
制备技术
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期刊影响力
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