铁电薄膜材料及其制备技术的发展

• 作者: 刘梅冬
• 来源期刊: 电子元件
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电材料 薄膜 制备技术
• 年，卷（期）: dzyjb_1996,（3）
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.9

摘要

综述了铁电薄膜材料及铁电薄膜制备技术的发展概况。阐述了几种典型铁电薄膜材料及主要制备技术的特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘梅冬		8	91	4.0	8.0