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硅基SiO2光波导
二氧化硅
光波导
氢氧焰淀积
微电子机械系统
紫外写入技术制备光波导器件研究
紫外写入
折射率
光波导
分束器
低密度SiO2气凝胶的常压制备工艺
SiO2气凝胶
溶胶凝胶法
酸碱两步催化
苦土粉碳化法生产镁盐新工艺
菱苦土
闪蒸气
碳化
镁盐
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 制造SiO2光波导的新工艺:紫外写入法
来源期刊 光纤通信技术 学科 工学
关键词 光波导 二氧化硅 制造工艺
年,卷(期) 1996,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 42-44
页数 3页 分类号 TN252.05
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
光波导
二氧化硅
制造工艺
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
光纤通信技术
月刊
武汉市洪山区邮科院路88号
出版文献量(篇)
1130
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10
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