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团粒束沉积：团粒束源的最佳化
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摘要：
为蒸汽－惰性气体混合物的超声喷嘴膨胀产生的团粒束正用于金属或难熔化合物的薄膜形成。针对扩大沉积面积和降低氩载气的有效抽速，将团粒束源进行了优化。用银作为我们的源的代表性材料时，在喷嘴下游０．７８ｍ处测出的团粒束直径为９４ｍｍ，对应的束张角为６．８°或０．０１１ｓｒ，沉积率达到１４ｎｍ／ｓ，喷嘴放电室的有效抽速在２５．５Ｐａ，时可能降低到０．１ｍ＾３／ｓ。用于薄膜形成的团粒束含有出自喷嘴全部银通量的
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文献信息
| 篇名 | 团粒束沉积：团粒束源的最佳化 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 团粒束沉积 团粒束源 薄膜工艺 | ||
| 年，卷（期） | gwhjb_1996,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 68-73 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TB43 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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团粒束沉积
团粒束源
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